2013年中国防静电超净技术产品对国民经济战略行业的重要作用

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内容提要：随着我国电子信息制造、医药、航空航天、精密仪器等战略行业的持续快速发展，防静电超净技术产品行业也进入了快速成长期，市场需求规模持续扩大。

我国防静电超净技术产品主要对工业生产过程中的静电与微污染进行防护和控制，以提高产品的可靠性和良率，是适应科学研究与产品加工的高质量、高可靠性、集成化、精密化、高纯度等方面要求而诞生的一门新兴技术行业，主要服务配套于先进制造业和相关服务业，为电子信息（液晶显示、半导体、硬盘存储、通讯、LED等）、医药等诸多行业提供基础性保障。

防静电超净技术产品应用领域

随着技术的不断进步，下游行业产品生产过程对静电和微污染的敏感度越来越高。例如，集成电路集成度的提高使其内绝缘层越来越薄、互连导线宽度与间距越来越小，对应的击穿电压阈值也越来越低。当前VMOS 器件的耐击穿电压已降至约30V，千兆位DRAM 的耐击穿电压仅为10 至20V，硬盘存储磁头的静电压阈值已经下降到3V 以内，而在没有采取防静电措施情况下，普通工作状态下人体的静电压通常在2,000V 以上（相对湿度15%）；在微污染的危害方面， HCl 浓度大于28ppb 便可造成肉眼可见之芯片腐蚀，一颗粒径为0.05μm 的微粒便会导致一片芯片毁损，而人静坐时每分钟散发的粒子数达到10 万颗以上。事实证明，如果不采取系统的静电和微污染防控措施，则各种精密电子器件、航空航天设备、高纯度药剂等产品的质量均无法得到保证，大规模生产更是无法实现，因此防静电超净技术已经日益成为影响电子信息制造等国民经济战略行业技术进步和社会整体发展水平的重要因素。作为静电和微污染整体防控体系中的关键环节，防静电超净技术产品的应用是保证静电与微污染防控效果的重要手段，能够大幅度降低产品面临的静电与微污染损害风险，对提高产品质量、可靠性、良率以及降低生产成本具有非常重要意义。从某种程度来说，防静电超净技术产品行业是服务于电子信息制造、航空航天、医药、精密仪器等国民经济战略行业不可或缺的基础配套行业。